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下驱动
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下驱动


本装置采用双导轨导向、滚珠丝杆旋转带动主轴座上下运动同时带动坩埚轴升降的结构,系统刚性好、运动精度高。坩埚轴升降分为快升和慢升两种方式,慢速升降是由慢速伺服电机通过行星减速器、涡轮蜗杆减速箱、同步带轮系统驱动精密滚珠丝杆旋转,从而实现坩埚轴慢速升降;快速升降是由快速伺服电机通过蜗轮蜗杆减速箱、同步带轮系统驱动精密滚珠丝杆旋转,从而实现坩埚轴的快速升降。






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